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      TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源

      簡要描述:TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應濺射而開發。以脈沖式直流電工作的該款發生器經受住尤為嚴苛的 PVD (物理氣相沉積)和 PECVD (等離子體增強化學氣相沉積)工藝的考驗,這些工藝對涂層質量與生產效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設備集于同一外殼!

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2024-01-28
      • 訪  問  量:2894

      詳細介紹

      品牌其他品牌應用領域能源,電子,交通,汽車,電氣

      TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源

      可靠處理苛刻工藝

      TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應濺射而開發。以脈沖式直流電工作的該款發生器經受住尤為嚴苛的 PVD (物理氣相沉積)和 PECVD (等離子體增強化學氣相沉積)工藝的考驗,這些工藝對涂層質量與生產效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設備集于同一外殼!

      出色的涂層質量和生產效率

      數字化信號處理確保工藝穩定并將受電弧限制的時間損失最小化。

      即便工藝條件嚴苛,也能實現最佳結果

      快速電弧處理與直流脈沖技術相結合,將基板損壞最小化。

      輕松適配工藝

      得益于寬泛的頻率范圍和可調反向電壓。

      緊湊又堅固的結構

      集成水冷裝置節省空間,減少維護工作。

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      TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源

      出色的涂層質量和生產效率

      快速電弧處理與直流脈沖技術相結合使微滴率降低且表面缺陷減少。受電弧限制的工藝中斷降到最少,沉積速率顯著提高。

      靈活適配工藝

      可在寬泛的范圍內調整脈沖頻率,直流發生器還配備偏壓模式。借此可將同一臺設備用于眾多應用。精心設計的監控工具支持您優化工藝。



      不同選項讓脈沖式直流電源以最佳方式適配您的應用。

      并行與同步

      多臺 TruPlasma DC 4000 (G2) 系列直流電源可同步運行。對于指向不同目標的多臺電源,該模式能夠實現電弧的同步識別。脈沖模式也可進行同步。



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