KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀

簡要描述：KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面

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廠商性質：代理商
更新時間：2024-01-29
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品牌	其他品牌	應用領域	能源,電子,汽車,電氣

KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀產品概述：

● 高精度．安定性．機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。

● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。

● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。

● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。

● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。

● ET4300一適合12"樣品測量。

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數

KOSAKA臺階儀ET4000薄膜測厚儀產品概述：

最大試片尺寸	210×210mm~300×400mm
重現性	1σ 0.5nm以內
測定范圍	Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
測定力	0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面

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