吉時利全自動半導體參數分析儀

吉時利全自動半導體參數分析儀4200A-SCS參數分析儀

吉時利全自動半導體參數分析儀4200A-SCS參數分析儀

加快各類材料、半導體器件和*工藝的開發，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業內性能電學特性參數分析儀，提供同步電流電壓曲線測試(I-V曲線測試)、電容-電壓曲線測試(C-V曲線測試)和超快脈沖I-V曲線測量。

　　主要性能指標

　　I-V源測量單元(SMU)

　　●±210 V/100 mA或±210 V/1 A模塊

　　●100 fA測量分辨率

　　●選配前端放大器提供了0.1 fA測量分辨率

　　●10 mHz-10 Hz超低頻率電容測量

　　●四象限操作

　　●2線或4線連接

　　C-V多頻率電容單元(CVU)

　　●AC阻抗測量(C-V,C-f,C-t)

　　●1 kHz-10 MHz頻率范圍

　　●±30 V(60V差分)內置DC偏置源，可以擴展到±210 V(420 V差分)

　　●選配CVIV多功能開關，在I-V測量和C-V測量之間簡便切換

　　脈沖式I-V超快速脈沖測量單元(PMU)

　　●兩個獨立的或同步的高速脈沖I-V源和測量通道

　　●200 MSa/s，5 ns采樣率

　　●±40 V(80 V p-p)，±800 mA

　　●瞬態波形捕獲模式

　　●任意波形發生器Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率

　　高壓脈沖發生器單元(PGU)

　　●兩個高速脈沖電壓源通道

　　●±40 V(80 V p-p)，±800 mA

　　●任意波形發生器Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率

　　-V/C-V多開關模塊(CVIV)

　　●在I-V測量和C-V測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針

　　●把C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針

　　遠程前端放大器/開關模塊(RPM)

　　●在I-V測量、C-V測量和超快速脈沖I-V測量之間自動切換

　　●把4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安

　　●降低電纜電容效應

　　4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件

　　4200A-SCS：參數分析儀主機

　　4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率SMU

　　4200-PA：一個預放大器

　　8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具

　　4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件

　　4200A-SCS：參數分析儀主機

　　4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率SMU

　　4200-PA：一個預放大器

　　4215-CVU：一個高分辨率多頻C-V單元

　　8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具

　　4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件

　　4200A-SCS：參數分析儀主機

　　4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率SMU

　　4211-SMU：兩個用于高容量設置的高功率SMU

　　4200-PA：兩個預放大器

　　4215-CVU：一個高分辨率多頻C-V單元

　　8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具

　　4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件

　　用于使用硅CMOS技術進行的復雜NBTI和PBTI測量

　　4200-BTI-A套件包括：

　　1個4225-PMU超快I-V模塊

　　2個4225-RPM遠程預放大器/開關模塊

　　自動化檢定套件(ACS)軟件

　　超快BTI測試項目模塊布線