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| 品牌 | 國儀量子 | 儀器分類 | FIB |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 500萬-700萬 | 產地 | 國產 |
國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優雅全能的納米分析和制樣工具，低電壓高分辨的電子鏡筒，保證納米分析能力。“承影"離子鏡筒提供了高穩定、高質量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器，一體化設計的控制軟件，為您打造全能納米分析和加工中心。
國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡
1、高壓隧道技術和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品
2、“承影"離子鏡筒，高穩定、高質量的離子束流，用于高質量納米加工和TEM制樣
3、樣品倉內壓電陶瓷驅動的機械手，集成式控制方式，操作精準到位
4、自主可控，擴展性強，集成化設計的離子源更換時間快，良好的售后服務
| 電子束系統 | 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發射電子槍 |
| 分辨率 | 0.9 nm@15 kV | |
| 加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
| 離子束系統 | 離子源類型 | 液態鎵離子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV | |
| 加速電壓 | 500 V ~ 30 kV | |
| 樣品室 | 真空系統 | 全自動控制，無油真空系統 |
| 攝像頭 | 三攝像頭 | |
| （光學導航+樣品倉內監控x2） | ||
| 樣品臺類型 | 五軸機械優中心樣品臺 | |
| 樣品臺行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內電子探測器(Inlens) |
| 旁側二次電子探測器（ETD） | ||
| 選配 | 插入式背散射電子探測器（BSED） | |
| 插入式掃描透射探測器（STEM） | ||
| 能譜儀（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 納米機械手 | ||
| 氣體注入器 | ||
| 等離子清洗 | ||
| 樣品交換倉 | ||
| 軌跡球&旋鈕控制板 | ||
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統 | Windows | |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
"承影"離子鏡筒
技術特點
分辨率：3 nm@30 kV
探針電流：1 pA~65 nA
加速電壓范圍：500 V~30 kV
使用壽命：≥1000小時
長時間穩定性：72小時不間斷工作
納米機械手
技術特點
倉內安裝方式
全壓電驅動
編碼精度≤10nm
最大移動速度2mm/s
集成式控制方式
離子束-電子束協同
氣體注入器
單氣體注入
多種氣源可選
伸縮距離≥35 mm
重復定位精度≤10 um
加熱溫度控制精度≤0.1℃
加熱溫度范圍：室溫~90℃
集成式控制方式
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